直线电机凭借无接触传动、高速度、高精度的优势,在半导体制造、光伏设备、精密机床等领域需求快速增长,国产直线电机企业正加速追赶国际水平。
直线电机直接将电能转化为直线运动,无需丝杠、齿轮等中间传动机构,具有速度快(可达20m/s以上)、精度高(定位精度可达微米级)、维护少等显著优点。
在半导体芯片制造领域,光刻机、贴片机等设备对运动精度要求极为苛刻,直线电机是不可替代的核心部件。